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KONTAKT FUER MIS-HALBLEITERBAUELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG
摘要
申请公布号
DE3016749(A1)
申请公布日期
1981.11.05
申请号
DE19803016749
申请日期
1980.04.30
申请人
SIEMENS AG
发明人
SCHUH,GOTTFRIED
分类号
H01L21/285;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/41;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/76;H01L21/18
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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