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Die Erfindung betrifft eine Kontaktkraft-Prüfvorrichtung mit einem Messtaster, welcher mit einem elektrischen Kontaktelement kontaktierbar ist und eine Kontaktkraft (F) eines Kontakts mit dem elektrischen Kontaktelement misst, und wobei der Messtaster (100) piezoelektrisches Material (102, 103) aufweist, welches die Kontaktkraft (F) in einem Kontaktbereich (3) aufnimmt und Polarisationsladungen erzeugt. Der Messtaster (100) weist eine Abnehmerelektrode (104) auf, welche im Kontaktbereich (3) in Richtung einer Dickenausdehnung des Messtasters (100) vollständig von piezoelektrischem Material (102, 103) umgeben ist und die Polarisationsladungen abnimmt. Die Erfindung betrifft auch eine Verwendung einer solchen Kontaktkraft-Prüfvorrichtung (10) und ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Kontaktkraft-Prüfvorrichtung. |
