一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计

摘要

本实用新型公开了一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构与加速度计。微机械敏感结构包括敏感质量块、镀在敏感质量块上的高反膜、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底，微机械敏感结构下部与带凹槽的衬底相连，蛇形梁型悬臂梁主要由股梁、第一蜿蜒梁、第二蜿蜒梁、胫梁的四个直梁依次相连构成。本实用新型实现了超高的加速度位移灵敏度，并且仍能保证较小的离轴串扰，微加工工艺可与IC工艺兼容，流片率高，易于大批量制作，配合基于光栅干涉腔的位移读出系统可实现超高的加速度测量灵敏度和精度。

主权项

一种超高加速度位移灵敏度的微机械敏感结构，其特征在于：所述微机械敏感结构(2)为无源器件，充当光学微加速度计中的加速度敏感模块；微机械敏感结构(2)包括敏感质量块(11)、镀在敏感质量块上的高反膜(14)、相连在敏感质量块上的蛇形梁型悬臂梁(12)以及与蛇形梁型悬臂梁末端相连的硅基底(13)，微机械敏感结构(2)下部与带凹槽的衬底(15)相连构成敏感质量块‑悬臂梁‑硅基底的悬浮结构。