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发明名称 PLASMABEHANDLUNGSAPPARAT
摘要
申请公布号 DE3144016(A1) 申请公布日期 1982.07.08
申请号 DE19813144016 申请日期 1981.11.05
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K. 发明人 ABE,HARUHIKO;HARADA,HIROSHI;DENDA,MASAHIKO;NAGASAWA,KOICHI;KONO,YOSHIO
分类号 H01L21/31;C23C8/36;C23C16/513;C23F1/00;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;B05D3/00;C23C11/00 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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