发明名称
摘要
申请公布号 JPS57195829(U) 申请公布日期 1982.12.11
申请号 JP19810082593U 申请日期 1981.06.04
申请人 发明人
分类号 H01J37/20;H01J37/02;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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