| 发明名称 |
ANODE SHIELD |
| 摘要 |
A sputter system and an anode and anode shield assembly that provide for improved grounding for extended sputter cycles. |
| 申请公布号 |
WO2016149560(A1) |
申请公布日期 |
2016.09.22 |
| 申请号 |
WO2016US22979 |
申请日期 |
2016.03.17 |
| 申请人 |
VISION EASE, LP |
发明人 |
MARSHALL, Michael;BROWN, Jeff |
| 分类号 |
C23C14/10;C23C14/34;C23C14/40;C23C14/44;C23C14/50 |
主分类号 |
C23C14/10 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
