发明名称 |
ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR SILVER-CONTAINING LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF AN ARRAY SUBSTRATE FOR DISPLAY DEVICE USING THE SAME |
摘要 |
본 발명은 은(Ag) 함유 박막의 식각액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 질산철, 무기산, 초산 및/또는 초산염, 부식방지제, 킬레이트제, 글리콜산 및 물을 포함하는 은 함유 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 디스플레이 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 관한 것이다. |
申请公布号 |
KR20160115189(A) |
申请公布日期 |
2016.10.06 |
申请号 |
KR20150042371 |
申请日期 |
2015.03.26 |
申请人 |
DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD. |
发明人 |
SHIM, KYUNG BO;KWON, MIN JEONG;LEE, SUCK JUN |
分类号 |
C09K13/06;C23F1/30;G02F1/1335;H01L21/306 |
主分类号 |
C09K13/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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