发明名称 ETCHING SOLUTION COMPOSITION FOR SILVER-CONTAINING LAYER AND MANUFACTURING METHOD OF AN ARRAY SUBSTRATE FOR DISPLAY DEVICE USING THE SAME
摘要 본 발명은 은(Ag) 함유 박막의 식각액 조성물에 관한 것으로, 보다 상세하게는 질산철, 무기산, 초산 및/또는 초산염, 부식방지제, 킬레이트제, 글리콜산 및 물을 포함하는 은 함유 박막의 식각액 조성물 및 이를 이용한 디스플레이 장치용 어레이 기판의 제조 방법에 관한 것이다.
申请公布号 KR20160115189(A) 申请公布日期 2016.10.06
申请号 KR20150042371 申请日期 2015.03.26
申请人 DONGWOO FINE-CHEM CO., LTD. 发明人 SHIM, KYUNG BO;KWON, MIN JEONG;LEE, SUCK JUN
分类号 C09K13/06;C23F1/30;G02F1/1335;H01L21/306 主分类号 C09K13/06
代理机构 代理人
主权项
地址