| 摘要 |
본 발명은 기판과 필름 합착 시 미세 버블이 발생되는 것을 최대한 방지할 수 있는 진공 라미네이터 및 이를 이용한 라미네이팅 방법을 제공하고자 한다. 이를 위하여, 본 발명은 외관을 이루는 프레임과, 상기 프레임에 상/하로 배치되는 제1 챔버케이스 및 제2 챔버케이스로 이루어지며 각 챔버케이스가 결합 또는 분리되면서 개방 가능한 밀폐 공간을 형성하는 챔버부와, 상기 제1 챔버케이스를 상하 업다운 시키기 위한 업다운 유닛과, 상기 챔버부 내측에 제공되어 기판 및 필름이 로딩되는 제1 스테이지 및 제2 스테이지와, 상기 제1 스테이지 및 제2 스테이지 상에 제공되어 상기 기판 및 필름을 고정시키거나 고정 상태를 해제할 수 있도록 제공된 홀더수단, 그리고 상기 챔버부 일측에 제공되어 상기 챔버부 내부를 진공압 분위기 또는 대기압 분위기로 선택적으로 제공하기 위한 진공펌프를 포함하여 이루어진 진공 라미네이터를 제공한다. |
