摘要 |
엘코스 패널 제조시스템 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 엘코스 패널 제조시스템은 배향막이 증착된 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 로더; 배향막이 증착된 글래스가 적재되는 글래스 로더; 상기 웨이퍼 및 상기 글래스를 이송하기 위한 이송부; 상기 이송부에 의해 상기 웨이퍼 로더 및 상기 글래스 로더로부터 상기 웨이퍼 및 상기 글래스를 각각 이송받으며, 상기 웨이퍼 및 상기 글래스의 위치를 조정하는 제1 얼라이너; 상기 이송부에 의해 상기 제1 얼라이너로부터 상기 웨이퍼를 이송받으며, 상기 웨이퍼의 각각의 칩의 패턴에 따라 메인 실런트를 도포하는 디스펜서; 상기 이송부에 의해 상기 디스펜서로부터 상기 웨이퍼를 이송받으며, 상기 웨이퍼의 각각의 칩에 액정을 도포하는 액정도포부; 상기 이송부에 의해 상기 액정도포부로부터 상기 웨이퍼를 이송받고, 상기 이송부에 의해 상기 제1 얼라이너로부터 상기 글래스를 이송받으며, 상기 웨이퍼 및 상기 글래스를 합착한 후 자외선을 조사하는 합착부; 및 상기 이송부, 제1 얼라이너, 상기 디스펜서, 상기 액정도포부 및 상기 합착부를 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 웨이퍼 로더, 상기 글래스 로더, 상기 이송부, 상기 제1 얼라이너, 상기 디스펜서, 상기 액정도포부, 상기 합착부 및 상기 제어부는 인라인 시스템을 이루도록 상호 인접하게 배치된다. |