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본 발명의 일태양의 세틀링 시간의 취득 방법은, DAC(디지털·아날로그 컨버터) 앰프로부터의 편향 신호에 의해 하전 입자빔을 편향하는 편향기를 이용하여, 제1 시간으로 DAC 앰프의 세틀링 시간을 설정하여, DAC 앰프의 세틀링 시간을 평가하기 위한 평가 편향 이동량보다 작은 편향 이동량이 되도록 편향기로 하전 입자빔을 시료 상에 편향시킴으로써, 폭 치수의 양단이 상이한 2 샷의 빔으로 묘화되는 레퍼런스 패턴을 형성하고, DAC 앰프의 세틀링 시간을 복수의 상이한 제2 시간을 이용하여 가변으로 설정하여, 가변으로 설정된 제2 시간마다, 연속하는 2 샷의 편향 이동량이 DAC 앰프의 세틀링 시간을 평가하기 위한 평가 편향 이동량이 되도록 편향기로 하전 입자빔을 시료 상에 편향시킴으로써, 레퍼런스 패턴과 설계상 동일한 폭 치수의 양단이 이러한 연속하는 2 샷의 빔으로 묘화되는 평가 패턴을 형성하고, 가변으로 설정된 제2 시간마다, 평가 패턴의 폭 치수와 레퍼런스 패턴의 폭 치수와의 차분을 연산하고, 제2 시간 마다의 차분을 이용하여, 편향 이동량만큼 편향시키기 위하여 필요한 DAC 앰프의 세틀링 시간을 취득하는 것을 특징으로 한다. |
