| 摘要 |
태양 전지를 위한 대면적 대기압 플라즈마 도핑 시스템을 공개한다. 본 발명은 전원 전압 및 접지 전압을 생성하여 공급하는 전원 공급부, 태양전지 웨이퍼, 태양전지 웨이퍼를 이송하고 접지 전압이 인가되는 트레이 및 외부로부터 가스를 주입받아 균일하게 분배하여 저장하고, 전원 전압을 인가받아 가스를 인라인 타입으로 방출함으로써, 코로나 방전에 의한 대기압 플라즈마 제트를 생성하여 태양전지 웨이퍼를 선형으로 도핑하는 플라즈마 소스부를 포함한다. |
