Purge gas injection plate and apparatus for removing fume with same

摘要

본 발명은 퍼지가스 분사 플레이트 및 이를 구비한 퓸 제거 장치에 관한 것으로서, 특히 퍼지가스를 분사하는 퍼지가스 분사 플레이트에 있어서, 상기 퍼지가스 분사 플레이트의 일측면에 오목부를 형성하고, 상기 오목부에 분사구와 웨이퍼를 지지하는 지지부재를 형성함으로써, 상기 웨이퍼의 곡률을 따라 퍼지가스를 분사하여 효율적으로 퓸을 제거하는 퍼지가스 분사 플레이트 및 이를 구비한 퓸 제거 장치에 관한 것이다.