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发明名称
摘要
申请公布号 JPS58127648(U) 申请公布日期 1983.08.30
申请号 JP19820025011U 申请日期 1982.02.23
申请人 发明人
分类号 H01L21/67;H01L21/301;H01L21/66;H01L21/68;H01L21/78;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
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