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发明名称
摘要
申请公布号	JPS58127660(U)	申请公布日期	1983.08.30
申请号	JP19820022121U	申请日期	1982.02.20
申请人		发明人
分类号	G01K7/36;H01L37/00;H01L37/04;H01L43/00;H01L43/08;(IPC1-7):H01L43/00	主分类号	G01K7/36
代理机构		代理人
主权项
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