发明名称
摘要
申请公布号 JPS5936832(B2) 申请公布日期 1984.09.06
申请号 JP19780028252 申请日期 1978.03.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 MYATA KENJI;KAMEI TATSUYA;OKAMURA MASAHIRO
分类号 H01L29/10;H01L29/74;H01L29/744 主分类号 H01L29/10
代理机构 代理人
主权项
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