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Bereitgestellt ist ein Wafer-Prober-System, das zum Durchführen einer Wafer-Oberflächenuntersuchung ausgestaltet ist. Das Wafer-Prober-System ist dazu ausgebildet, eine Gestelleinheit, einen Lader, einen Tester, eine Steuereinheit und eine Wafer-Oberflächenuntersuchungseinheit aufzuweisen, die eine Oberfläche eines Wafers vor und nach dem Wafer-Testen untersucht. Das Wafer-Prober-System generiert eine Wafer-Oberflächenuntersuchungsinformation vor und/oder nach dem Wafer-Testen mittels der Wafer-Oberflächenuntersuchungseinheit und um das Testen mittels der Wafer-Oberflächeninformation durchzuführen oder um einen Zustand des Testens in Echtzeit genau zu überprüfen. |
