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发明名称 METHOD OF INSPECTING ELASTIC DEFORMATIONS OF MONOCRYSTAL WAFERS
摘要
申请公布号 SU1163227(A1) 申请公布日期 1985.06.23
申请号 SU19833633892 申请日期 1983.08.17
申请人 MO I ELEKTRONNOJ TEKHNIKI 发明人 VORONKOV SERGEJ N,SU;MAKSIMOV SERGEJ K,SU;CHUKHOVSKIJ FELIKS N,SU
分类号 G01N23/20;(IPC1-7):G01N23/20 主分类号 G01N23/20
代理机构 代理人
主权项
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