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发明名称 HIGH FREQUENCY INDUCTION HEATING EVAPORATION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS60130090(A) 申请公布日期 1985.07.11
申请号 JP19830235093 申请日期 1983.12.15
申请人 NIPPON SHINKU GIJUTSU KK 发明人 MATSUMOTO TAKASHI;KODAMA TETSUO
分类号 H05B6/16;H05B6/26 主分类号 H05B6/16
代理机构 代理人
主权项
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