SINTERED BODY FOR REDUCING RAW MATERIAL SPUTTERING TARGET COMPRISING THE SAME AND THE PREPARATION THEREOF

摘要

본 발명은 스퍼터링에 의해 소모되는 증착재료를 함유하는 코인 형상의 소결체로서, 일측이 개구된 중공부가 내부에 형성되고, 상기 중공부는 백킹 플레이트의 돌출부와 서로 맞물리게 접합되는 것을 특징으로 하는 소결체, 이를 포함하는 스퍼터링 타겟 및 이의 제조방법을 제공한다. 본 발명에서는 타겟의 소모부위 측정 및 설계를 통해 타겟의 미사용부를 백킹 플레이트(Backing Plate)의 형상 변경을 통해 대체가 가능하므로, 귀금속 사용량이 저감되고 제조시간 및 비용 단축에 효과적이다.