发明名称 HOLDER FOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS60158074(A) 申请公布日期 1985.08.19
申请号 JP19840011661 申请日期 1984.01.25
申请人 ROOMU KK 发明人 UCHIDA MASASHI
分类号 B65D85/86;B65D25/04;B65D85/38;H01L21/673;H01L21/68 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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