| 发明名称 | 一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构 | ||
| 摘要 | 一种热丝CVD沉积系统的丝架结构，涉及一种丝架结构，包括固定钽丝杆A（1）、支撑架（2）、钽丝（3）、固定钽丝杆B（5）和丝架固定杆（4），在平行间隔设置的两根竖向支撑架（2）之间的两端分别设有固定钽丝杆A（1）和固定钽丝杆B（5），在固定钽丝杆B（5）的外侧设有拉簧固定组件（7），多根钽丝（3）的一端均布在固定钽丝杆A（1）上，多根钽丝（3）的另一端分别穿过固定钽丝杆B（5）后与拉簧固定组件（7）上设置的多根耐高温拉簧（6）固定连接；本实用新型通过将热丝架设置为竖直安装的方式，实现了热丝不下垂，基片台温场均匀的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN205803590U | 申请公布日期 | 2016.12.14 |
| 申请号 | CN201620591954.9 | 申请日期 | 2016.06.17 |
| 申请人 | 洛阳奥尔材料科技有限公司 | 发明人 | 邹杨;孙蕾;杨宜珍;邹松东;孙凌 |
| 分类号 | C23C16/27(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/27(2006.01)I |
| 代理机构 | 洛阳市凯旋专利事务所 41112 | 代理人 | 陆君 |
| 主权项 | 一种热丝 CVD沉积系统的丝架结构，包括固定钽丝杆A（1）、支撑架（2）、钽丝（3）、固定钽丝杆B（5）和丝架固定杆（4），其特征是：在平行间隔设置的两根竖向支撑架（2）之间的两端分别设有固定钽丝杆A（1）和固定钽丝杆B（5），在固定钽丝杆B（5）的外侧设有拉簧固定组件（7），多根钽丝（3）的一端均布在固定钽丝杆A（1）上，多根钽丝（3）的另一端分别穿过固定钽丝杆B（5）后与拉簧固定组件（7）上设置的多根耐高温拉簧（6）固定连接。 | ||
| 地址 | 471000 河南省洛阳市涧西区浅井头一街坊7幢2-402室 | ||