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Bei einem Verfahren und bei einer Vorrichtung zur elektrischen Prüfung von Mikroverdrahtungen (1) wird mit wenigstens einer ersten Korpuskularsonde (2,3) wenigstens ein erster Schaltungsknoten (6) elektrisch aufgeladen und wird mit wenigstens einer zweiten Korpuskularsonde (4,5) wenigstens ein zweiter Schaltungsknoten (7) daraufhin überprüft, ob er mit wenigstens einem ersten Schaltungsknoten (6) eine elektrisch leitende Verbindung (14) aufweist. Ein solches Verfahren und eine solche Vorrichtung sollen es mit relativ einfachen Mitteln ermöglichen, die Aufladung an Mikroverdrahtungen (1) messend zu verfolgen, ein Umschalten eines Strahlerzeugers auf verschiedene Primärenergien zu vermeiden und sämtliche mit einem Sekundärelektronensignal verknüpfte Nachteile auszuschalten. Wenigstens eine zweite Korpuskularsonde (4,5) wird im Bereich der elektrischen Felder, die von dem wenigstens einen zweiten Schaltungsknoten (7) ausgehen, abgelenkt. Über die sich dabei ergebende Ablenkung (Δβx, Δβy) der wenigstens einen zweiten Korpuskularsonde (4,5) wird das Potential an diesem wenigstens einen zweiten Schaltungsknoten (7) qualitativ oder quantitativ ermittelt.
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