发明名称 The manufacture method of magnet roller for guide of wafer and the manufacturing system thereof
摘要 본 발명은 이음 단부 접합성이 개선된 웨이퍼 회전 가이드용 마그네틱 로울러의 제조방법 및 상기 제조방법에 의해 제조된 마그네틱 로울러에 관한 것이다. 이에 본 발명의 기술적 요지는 높은 내열성과 기계적 강도 등을 갖는 피크(PEEK: Poly-Ether Ether Ketone) 재질의 마그네틱 로울러(업계 통칭은 '메가롤러' 라 함)를 제조함에 있어서, 마그네틱 로울러를 이루는 로울러 바디와 마감 캡의 이음 단부 접합성을 개선하도록 한 것으로, 상기 로울러 바디와 마감 캡은 용접 후 견고한 접합성을 확보하도록 하면서 동시에 열변형이 발생하지 않도록 형성되어 동력전달 부재로서의 구조 강성과 내구성이 크게 향상되도록 형성되고, 상기 양 구성품(로울러 바디와 마감 캡)은 별도의 전용 히팅가압 접합장치를 통해 신속하고 정밀하게 용접(융착)되도록 형성되는 바, 이는 용접에 관한 비숙련자도 쉽게 접합 가공할 수 있도록 함은 물론 종전의 용접봉 사용 없이 근접 가열방식에 의한 열융착을 도모할 수 있도록 형성되어 작업자로 하여금 안전하고 편리한 작업성을 제공함은 물론 불량감소와 기타 부자재 사용 생략으로 인해 제조원가를 절감할 수 있도록 형성되고, 특히 양 구성품(로울러 바디와 마감 캡) 간 용접 본딩면의 균일함을 확보할 수 있으며 접합부의 크랙(균열)을 방지할 수 있도록 함으로써 사용성과 품질이 크게 개선되는 특징이 있다.
申请公布号 KR20160150318(A) 申请公布日期 2016.12.30
申请号 KR20150088120 申请日期 2015.06.22
申请人 한현우 发明人 한현우
分类号 H01L21/304;H01L21/02 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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