DISPOSITIF ET PROCEDE DE TRANSFERT THERMIQUE ENTRE SOLIDES, AVEC ASSISTANCE PAR UN GAZ, POUR UNE TRANCHE DE SEMI-CONDUCTEUR,申请号FR19830008510-传众专利搜索

发明名称	DISPOSITIF ET PROCEDE DE TRANSFERT THERMIQUE ENTRE SOLIDES, AVEC ASSISTANCE PAR UN GAZ, POUR UNE TRANCHE DE SEMI-CONDUCTEUR
摘要
申请公布号	FR2527838(B1)	申请公布日期	1986.03.21
申请号	FR19830008510	申请日期	1983.05.24
申请人	VARIAN ASSOCIATES	发明人	HOLDEN SCOTT CARLETON
分类号	H01J37/317;H01L21/00;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/683;H01L21/687;(IPC1-7):H01L23/46;H01L23/40	主分类号	H01J37/317
代理机构		代理人
主权项
地址