PROCESS FOR CLEANING AIR TO SUPERHIGH PURITY,申请号JP19840185138-传众专利搜索

发明名称	PROCESS FOR CLEANING AIR TO SUPERHIGH PURITY
摘要
申请公布号	JPS6161609(A)	申请公布日期	1986.03.29
申请号	JP19840185138	申请日期	1984.09.03
申请人	AOI TSUYOSHI	发明人	AOI TSUYOSHI
分类号	B01D46/30;B01D49/00;B01D50/00;B01D51/00;B01D51/04;B01D51/06;B01D51/10	主分类号	B01D46/30
代理机构		代理人
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