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Appareil (10) comportant un tunnel (14) pour le transport et le traitement de tranches de silicium (12) sous une condition de flottaison double grâce au moins à un milieu gazeux, ledit tunnel (14) étant relié à un dôme d'entrée (16) et à un dôme de sortie (18), les deux dômes étant au moins partiellement remplis dudit milieu gazeux dans une mesure telle que, pendant le fonctionnement, ledit tunnel est séparé de l'air extérieur grâce à un bouchon situé dans lesdits dômes. |
