发明名称 漏れ検出装置及び漏れ検出装置を用いて気密性に関して物体を検査するための方法
摘要 A leak detection device has a test chamber which, for evacuation, is connected to an evacuation pump device. Moreover, the test chamber is connected by a test gas line to a test gas pump device. The test gas pump device is connected, at its main inlet, to a test gas detector, such that a detection of test gas can take place using the counter-current principle. A valve device is arranged in the test gas line. This valve device has a test gas chamber for temporary storage of test gas removed from the test chamber.
申请公布号 JP6018632(B2) 申请公布日期 2016.11.02
申请号 JP20140519465 申请日期 2012.05.18
申请人 オーリコン レイボルド バキューム ゲーエムベーハー 发明人 ウォルター,ジェラルド ウィルヘルム;ホルスタイン,ジュンター;バイヤー,クリスチャン
分类号 G01M3/20 主分类号 G01M3/20
代理机构 代理人
主权项
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