| 发明名称 |
DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE PAR FAISCEAU D'ELECTRONS A PLATINE MOBILE ET A BALAYAGE PAR TRAME EMPLOYANT UN CIRCUIT DE CORRECTION APPROXIMATIVE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2512587(B1) |
申请公布日期 |
1986.12.05 |
| 申请号 |
FR19820015251 |
申请日期 |
1982.09.08 |
| 申请人 |
VARIAN ASSOCIATES |
发明人 |
BILLY W. WARD ET WILLIAM D. WELLS;WELLS WILLIAM D |
| 分类号 |
H01L21/027;H01J37/302;(IPC1-7):H01J37/317;G03F7/26;H01J37/153;H01L21/308 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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