发明名称 EPITAXIAL GROWTH METHOD
摘要
申请公布号 JPS6224616(A) 申请公布日期 1987.02.02
申请号 JP19850163311 申请日期 1985.07.24
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 MORIKAWA HISASHI;NAKANO HIROYUKI;NISHIGUCHI KATSUNORI
分类号 H01L21/74;H01L21/205 主分类号 H01L21/74
代理机构 代理人
主权项
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