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发明名称 VAPOR PHASE IMPURITY DIFFUSION
摘要
申请公布号 JPS6236818(A) 申请公布日期 1987.02.17
申请号 JP19860031858 申请日期 1986.02.18
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 TERADA EIGO;KAGEURA YOSHIAKI
分类号 B01D53/22;C30B31/06;H01L21/205;H01L21/22 主分类号 B01D53/22
代理机构 代理人
主权项
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