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发明名称 IONENIMPLANTATIONSTARGETKAMMER
摘要
申请公布号 DE3630035(A1) 申请公布日期 1987.03.12
申请号 DE19863630035 申请日期 1986.09.03
申请人 EATON CORP. 发明人 EDGAR ARMSTRONG,ALLEN;MORRIS BENVENISTE,VICTOR;RYDING,GEOFFREY
分类号 H01L21/265;H01J37/317;H01L21/00;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/425;H01L21/68;H01J37/20 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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