发明名称 SEMICONDUCTOR TESTER
摘要
申请公布号 JPS6267474(A) 申请公布日期 1987.03.27
申请号 JP19850209418 申请日期 1985.09.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TADA TETSUO;MAENO HIDESHI
分类号 G01R31/26;G01R31/319 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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