| 发明名称 |
IRRADIATION METHOD FOR ULTRAVIOLET RAY LASER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6269519(A) |
申请公布日期 |
1987.03.30 |
| 申请号 |
JP19850209849 |
申请日期 |
1985.09.20 |
| 申请人 |
JAPAN STORAGE BATTERY CO LTD |
发明人 |
ONO IKUO;SAKAMOTO HIROMI |
| 分类号 |
H01L21/027;G02B26/10;G03F7/20;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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