发明名称 MOS INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6272145(A) 申请公布日期 1987.04.02
申请号 JP19850211552 申请日期 1985.09.25
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NODA MAKOTO
分类号 H01L21/768;H01L21/316;H01L23/522 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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