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发明名称 MULTICOMPONENT ALLOY FOR SPUTTERING TARGETS
摘要
申请公布号 HK25187(A) 申请公布日期 1987.04.03
申请号 HK19870000251 申请日期 1987.03.26
申请人 LEYBOLD-HERAEUS GMBH;DEMETRON GESELLSCHAFT FUR ELEKTRONIK-WERKSTOFFE MBH. 发明人 WOLF-DIETER MUNZ;JORG GOEBEL;G.A. HORST SIEWERT;HORST DIETRICH
分类号 C22C5/02;C23C14/14;C23C14/34;(IPC1-7):C22C5/02;C22C9/00 主分类号 C22C5/02
代理机构 代理人
主权项
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