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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号
JPS6273629(A)
申请公布日期
1987.04.04
申请号
JP19850213542
申请日期
1985.09.26
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
GOTO SHIGERU
分类号
B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30
主分类号
B05C11/08
代理机构
代理人
主权项
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