WAFER PROBE HEAD,申请号JP19860223473-传众专利搜索

发明名称	WAFER PROBE HEAD
摘要
申请公布号	JPS6276733(A)	申请公布日期	1987.04.08
申请号	JP19860223473	申请日期	1986.09.20
申请人	TEKTRONIX INC	发明人	EMANIYUERU SAN;GEERII ERU ESUTABURUTSUKU
分类号	H01L21/66;G01R1/06;G01R1/073	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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