| 发明名称 |
REFORMATION APPARATUS OF ARRAY SUITABLE FOR APPLYING TO LARGE SCALE INTEGRTED CIRCUIT AND METHOD OF THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6286743(A) |
申请公布日期 |
1987.04.21 |
| 申请号 |
JP19860234271 |
申请日期 |
1986.10.01 |
| 申请人 |
INTERNATL STANDARD ELECTRIC CORP |
发明人 |
SUTEIIBUN GUREGORII MOOTON |
| 分类号 |
G06F11/20;G06F15/16;G11C29/00;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G06F11/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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