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发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6286718(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850227198 申请日期 1985.10.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAITO KAZUNORI;MORIIZUMI KOICHI
分类号 H01L21/027;H01J37/305;H01L21/30 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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