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经营范围
发明名称
ORGANO METALLIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPS6286817(A)
申请公布日期
1987.04.21
申请号
JP19850226905
申请日期
1985.10.14
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
NAKAI KENYA
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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