发明名称 ORGANO METALLIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPS6286817(A) 申请公布日期 1987.04.21
申请号 JP19850226905 申请日期 1985.10.14
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAKAI KENYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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