发明名称 Method and device for the thermo-ionic treatment of a material in order to change its physiochemical properties.
摘要 <p>Le dispositif comprend : un substrat (8) comportant une première (10) et une seconde (6) faces opposées, la première face étant recouverte d'un film de dopant (12) et étant apte à être disposée en regard du matériau (14) tout en maintenant un espace (18) entre le film et le matériau ; une source (2) engendrant un faisceau laser (4), collimaté et pulsé, d'une longueur d'onde donnée, dirigé sur la seconde face du substrat transparent à ladite longueur d'onde, ce faisceau laser étant apte à interagir avec le film de dopant pour former des ions de dopant par vaporisation explosive dudit dopant, et des moyens électriques (20, 22) pour engendrer simultanément à l'impulsion laser, un champ électrique ( ?) dans ledit espace pour accélérer les ions de dopant en vue de leur implantation thermo-ionique dans le matériau. Application au traitement des métaux et alliages.</p>
申请公布号 EP0239432(A1) 申请公布日期 1987.09.30
申请号 EP19870400351 申请日期 1987.02.18
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 发明人 ELOY, JEAN FRANCOIS
分类号 B01J19/08;C23C14/28;C23C14/48;C30B31/22;(IPC1-7):C23C14/48;H01L21/225 主分类号 B01J19/08
代理机构 代理人
主权项
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