| 发明名称 |
CELL FOR EPITAXY BY MOLECULAR JET AND RELATED METHODS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6325293(A) |
申请公布日期 |
1988.02.02 |
| 申请号 |
JP19870118721 |
申请日期 |
1987.05.15 |
| 申请人 |
COMMISS ENERG ATOM |
发明人 |
IBU DOMEI;JIYAN PIEERU GERIAARU;AREN MIRION;JIYAN PIAGE |
| 分类号 |
C30B23/08;C30B23/06;H01L21/203 |
主分类号 |
C30B23/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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