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发明名称 BURN-IN APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6340877(A) 申请公布日期 1988.02.22
申请号 JP19860184743 申请日期 1986.08.05
申请人 TABAI ESUPETSUKU KK 发明人 OI KENICHI;OBATA OSAMU
分类号 G01R31/30;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/30
代理机构 代理人
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