| 发明名称 |
CUTTING WORKING METHOD OF SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6345005(A) |
申请公布日期 |
1988.02.26 |
| 申请号 |
JP19860187800 |
申请日期 |
1986.08.12 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIRAKAWA YASUHIRO;INOUE YUJI |
| 分类号 |
H01L31/09;B28D1/22;B28D5/00;B28D5/04;H01L21/304;H01L21/78;H01L31/00 |
主分类号 |
H01L31/09 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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