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发明名称 PLASMA VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6358924(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860204510 申请日期 1986.08.29
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAKAO SHUJI
分类号 H01L21/31;H01L21/205 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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