发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6358851(A) 申请公布日期 1988.03.14
申请号 JP19860201671 申请日期 1986.08.29
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI KENICHI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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