发明名称 ION COATER
摘要
申请公布号 JPS6372879(A) 申请公布日期 1988.04.02
申请号 JP19860217651 申请日期 1986.09.16
申请人 SANYUU DENSHI KK 发明人 GOTO KATSUTO;SHIMATANI TAKASHI
分类号 C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
地址