| 摘要 |
본 발명은 증착장치, 증착방법 및 보호막 증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 단일 챔버에서 복수의 물질층을 증착하는 증착장치, 증착방법 및 보호막 증착장치에 관한 것이다. 본 발명의 일실시예에 따른 증착장치는 기판이 지지되는 기판 지지대, 상기 기판의 증착면에 대응되어 위치하며, 상기 기판을 가로지르는 제1 축 방향으로 나란히 배치되는, 제1 물질층을 증착하는 복수의 선형 원자층 증착원과 제2 물질층을 증착하는 적어도 하나의 선형 플라즈마화학기상 증착원을 포함하는 증착모듈부 및 상기 기판 지지대에 연결되어 상기 제1 축 방향과 교차하는 제2 축 방향으로 상기 기판 지지대를 왕복 운동시키는 구동부를 포함할 수 있다. |
