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发明名称 TARGET FOR CATHODIC SPUTTERING
摘要
申请公布号 EP0115629(B1) 申请公布日期 1988.06.08
申请号 EP19830113089 申请日期 1983.12.24
申请人 MERCK PATENT GESELLSCHAFT MIT BESCHRANKTER HAFTUNG 发明人 KLEIN, HANS DIETRICH, DR.
分类号 C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C04B35/00
代理机构 代理人
主权项
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