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发明名称 PROCEDE D'APLANISSEMENT D'UN SUBSTRAT SEMICONDUCTEUR REVETU D'UNE COUCHE DIELECTRIQUE
摘要
申请公布号 FR2599892(B1) 申请公布日期 1988.08.26
申请号 FR19860008362 申请日期 1986.06.10
申请人 SCHILTZ ANDRE 发明人
分类号 H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/40;H01L21/762;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
主权项
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